인기 검색어
2024-02-23 18:00:00
-
뉴스
더보기-
뉴스 상세보기
예스티, 반도체 고압 어닐링 장비 ‘핵심 공정기술' 특허 출원
[서울경제TV=김혜영기자]예스티는 고압 어닐링 기술 관련 특허를 출원했다고 2일 밝혔다. 이는 반도체 제조의 핵심 공정에 적용되는 고압 어닐링 장비의 압력 챔버 등에 관한 것으로 중수소 리액터 장치를 최초로 국산화한 것을 골자로 한다. 예스티의 고압 어닐링 장비는 800℃의 온도 내에서 30기압의 고압을 가해 수소농도 100%를 유지하면서 어닐링 공정을 진행할 수 있다고 설명했다. 해당 장비는 고압으로 인한 중수소의 반도체 계면 침투율을 향상해 열처리 극대화가 가능한데, 기존 어닐링 장비는 600~1,100℃..
증권2022-08-02
핫클립
더보기반도체 열처리에 대한 검색 결과가 없습니다. 단어의 철자나 맞춤법이 맞는지 확인해 주세요.
방송프로그램
더보기반도체 열처리에 대한 검색 결과가 없습니다. 단어의 철자나 맞춤법이 맞는지 확인해 주세요.
-